SSTH系列中頻磁控濺射電源工作于二級高頻變換模式，交流正弦輸出。中頻濺射電源以兩個濺射靶作為負(fù)載，兩個靶交替工作，因此濺射靶一個濺射周期內(nèi)一半以上的時間為反向電壓截止濺射，使靶材表面積累電荷有的到充分泄放時，有利于抑制靶材弧光放電及表面中毒。SSTH系列中頻交流磁控濺射電源具備獨特的電弧抑制功能，有效克服電弧對膜層造成的瑕疵，預(yù)警系統(tǒng)實時顯示電源工作狀態(tài)，以便及時排除潛在問題。電源特別適用于大功率反應(yīng)濺射膜層，如low-e玻璃生產(chǎn)線及金屬非金屬卷繞鍍膜使用   電源功率范圍 30-120KW 輸入電源 AC380V三相四線制AC50-60HZ±10％ 輸出方式 準(zhǔn)正弦波 輸出頻率 40KHZ 輸出電壓 空載1100V[有效值] 輸出特性 橫流 恒壓 恒功率 滅弧時間 ≤3uS 輸出電流穩(wěn)定率 0.25％ 負(fù)載持續(xù)率 100% 冷卻方式 水冷 使用環(huán)境 環(huán)境溫度 0-40℃ 環(huán)境濕度 相對濕度≤85％ 空氣清潔 無粉塵 無腐蝕性易燃性氣體 通風(fēng)良好 冷卻水 清潔 不含礦物質(zhì)及其他可溶性物質(zhì) 水溫 20-30℃ 壓力 0.15±0.05Mpa 通訊方式 模擬/RS485/RS232 說明：電源的輸出數(shù)據(jù)可根據(jù)使用需要作相應(yīng)調(diào)整