SS-II系列磁控濺射電源工作于高頻變換模式，直流輸出,電源電流調(diào)整通過改變高頻變換的脈沖寬度來實(shí)現(xiàn)。電源具有良好的負(fù)載特性，性價(jià)比高，適用于金屬及部分反應(yīng)膜層環(huán)境使用。 電源功率范圍 10-120KW 輸入電源 AC380V三相四線制 50-60HZ±10％ 輸出方式 直流 輸出電壓 空載800V 滅弧時(shí)間 ≤20uS 輸出電流穩(wěn)定率 0.5％ 冷卻方式 10-60KW風(fēng)冷 60-120KW水冷 使用環(huán)境 環(huán)境溫度 0-40℃ 環(huán)境濕度 相對(duì)濕度≤85％ 空氣清潔 無粉塵 無腐蝕性易燃性氣體 通風(fēng)良好 冷卻水 清潔 不含礦物質(zhì)及其他可溶性物質(zhì) 水溫 20-30℃ 壓力 0.15±0.05Mpa 通訊方式 模擬/RS485/RS232 說明：電源的輸出特性可根據(jù)使用需要作相應(yīng)調(diào)整