1）采用工控機 PLC 條碼槍控制，方便信息的讀取、記錄，可與工廠MES系統(tǒng)相連接 2）適用于多種規(guī)格硅片的腐蝕清洗，同一臺設備可編程多套運行軟件 3）根據(jù)工藝需求，槽體可匹配超（兆）聲、抖動、旋轉(zhuǎn)、循環(huán)過濾等功能 4）全自動控制，可選擇自動配補液，保證了操作的安全穩(wěn)定性 5）高速移栽機械手，伺服驅(qū)動控制，保證運行平穩(wěn)，定位可靠 6）設備配置FFU,UPS,保證設備穩(wěn)定運行 7）采用國際品牌的電氣元件