玻璃基板和蒸鍍成膜可制可彎曲柔性基板

2012-07-18 來源：日經(jīng)BP社　

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【中玻網(wǎng)】“柔性基板上的成膜要用涂布工藝”，或者“玻璃基板不能使用卷對(duì)卷工藝”等定見，其實(shí)是不正確的。例如，將脂膜及金屬箔以卷對(duì)卷方式卷繞，并以真空蒸鍍成膜的技術(shù)10多年前就有了(圖A-1)。而且一直主要用于柔性印刷布線基板、觸摸面板及透明導(dǎo)電薄膜等的制造。“還曾有過在一口氣就能吹走的1.2μm厚薄膜上成膜的例子”(洛克技研工業(yè)代表董事巖永淳一)。在海外，德國(guó)弗勞恩霍夫研究所(FraunhoferInstitute)也在用與洛克技研工業(yè)相同但尺寸更大的裝置開發(fā)農(nóng)業(yè)生產(chǎn)體系EL照明面板。

中玻網(wǎng)新聞圖片

較近，柔性基板的隊(duì)伍中又增加了“玻璃”這位新成員。大日本印刷在2012年6月的顯示器技術(shù)全部會(huì)議“SID2012”上，發(fā)布了在柔性玻璃上以卷對(duì)卷方式形成彩色濾光片的技術(shù)。將玻璃的厚度減至50～70μm，便可在一定程度上彎曲。并在其上利用以往的光刻技術(shù)形成圖案。雖然目前彎曲時(shí)的機(jī)械強(qiáng)度似還存在課題，但將來肯定會(huì)成為樹脂膜的強(qiáng)勁競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手。
　　
　　這類技術(shù)很難區(qū)別是傳統(tǒng)的半導(dǎo)體技術(shù)還是廣義的印刷電子。但開發(fā)新元件的選擇范圍得以大幅擴(kuò)展這一點(diǎn)是毫無疑問的。

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