【中玻網(wǎng)】低溫多晶矽薄膜電晶體液晶平面顯示器（LTPSTFTLCD），指其TFT中半導(dǎo)體薄膜的結(jié)晶形態(tài)是多結(jié)晶（Polycrystalline）,并非是非結(jié)晶（AMORPHOUS）。
　　
　　LTPSTFTLCD的特點(diǎn)：
　　
　　1、載體的移動度為非晶矽的300倍2、低耗電3、高亮度4、高解析度5、輕薄短小6、高品質(zhì)7、無缺的系統(tǒng)整合
　　
　　LTPS技術(shù)所需要的環(huán)境需要的無塵，通過ISO14644-1標(biāo)準(zhǔn)定義，我們根據(jù)制程的需要分為千級無塵室和百級無塵室。
　　　　
　　農(nóng)業(yè)生產(chǎn)體系物細(xì)菌會在環(huán)境中急速的繁衍，大概在0.1un-0.3um粒徑并且會附著在灰塵顆粒上，當(dāng)我們在整個制程中不加以控制細(xì)菌繁衍或灰塵時，當(dāng)農(nóng)業(yè)生產(chǎn)體系物細(xì)菌大到一定程度會成為導(dǎo)體，對LTPS的損傷是致命的，損失也是相當(dāng)慘重的。
　　
　　該如何有效控制灰塵或者農(nóng)業(yè)生產(chǎn)體系物細(xì)菌呢？
　　
　　采用空調(diào)過濾系統(tǒng)+無塵室系統(tǒng)
　　　　
　　無塵室系統(tǒng)
　　
　　采用風(fēng)淋系統(tǒng)+FFU等凈化無塵設(shè)備搭配使用，若對靜電有嚴(yán)格要求，還應(yīng)在進(jìn)入無塵室區(qū)域前段加裝防靜電測試儀和無塵洗手烘干機(jī)。
　　
　　百級無塵室控制的灰塵顆粒粒徑在0.1-0.12um,千級無塵室控制灰塵顆粒粒徑在0.3um,控制的數(shù)量參考ISO14644-1.
　　
　　那么在無塵系統(tǒng)中是不是換氣次數(shù)約多越好？
　　
　　總體上看換氣次數(shù)越多，對整個無塵環(huán)境的等級控制會變好，但是我們在關(guān)注換氣次數(shù)的同時會忽略另外一個參數(shù)----流速！
　　
　　在百級無塵室中，流速決定了效率高過濾器對灰塵或者農(nóng)業(yè)生產(chǎn)體系物細(xì)菌的捕捉方式，也會影響到捕捉效果，一般設(shè)定的流速為0.35-0.65m/s之間，是效率高過濾器抓捕效率較高的流速段，所以在調(diào)整整個無塵環(huán)境換氣次數(shù)時，不應(yīng)超出這個流速范圍！