適用于光學(xué)掩膜，硬盤玻璃，觸摸屏，液晶顯示器的高性能拋光產(chǎn)品理性指標(biāo)灼燒/as is %稀土含量/as is %氧化鈰/as is %中心顆粒（D50Laser，μm）大顆粒含量＞15μm（ppm）≤2≥90≥551.0-1.4≤200  拋光性能切削率劃痕懸浮性能再分散性ACBC A  B很好  C好  D中等  E可接受粒徑分布圖 D10(Laser，μm)0.64D50(Laser，μm)1.27D90(Laser，μm)2.54D100(Laser，μm)5.83