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工藝技術(shù)要求:1.同時可對12個以上液氮杜瓦進(jìn)行排氣2.單個液氮杜瓦真空度<3pa,抽真空時間≤1min;12個液氮杜瓦真空度<3pa,抽真空時間≤40min3.極限真空度≤0.01pa

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