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供應PSG 磷硅玻璃去除設備

產(chǎn)品信息

產(chǎn)品詳細

PSG 磷硅玻璃去除設備 1、設備主要應用于去除爐管制程中產(chǎn)生的磷硅玻璃 2、高產(chǎn)能及低破片率, 提供單晶硅片表面臟污及磷硅玻璃清洗處理 3、采用特殊干燥系統(tǒng)設備,有效降低產(chǎn)品破片率 4、全自動補液技術 5、雙伺服機械手傳送系統(tǒng),自動上/下料工位,排水/進水系統(tǒng)實現(xiàn)全自動化,搭配觸控式屏幕,提供操作簡便的功能性 6、***行走機械臂,運行平穩(wěn)。全自動控制行程模式,優(yōu)良的制程調(diào)控能力,穩(wěn)定的高產(chǎn)出率及低破片率,適用于批量生產(chǎn)線。

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