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硅靶材,多晶硅靶,單晶硅吧,真空噴涂硅靶

產(chǎn)品信息

產(chǎn)品詳細

濺射靶材主要應用在平板顯示、記錄媒體、光伏電池、半導體等領域。其中,在濺射靶材應用領域中,半導體芯片對濺射靶材的金屬材料純度、內部微觀結構等方面都設定了極其苛刻的標準。高純靶材主要用于對材料純度、穩(wěn)定性要求更高的領域,像集成電路、平板顯示器、太陽能電池、記錄媒體、智能玻璃等行業(yè)。在濺射靶材應用領域中,半導體芯片對濺射靶材的要求是比較高的,要求靶材純度很高,一般在5N(99.999%)以上。隨著電子產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,高技術材料逐漸向薄膜轉移,鍍膜期間隨之發(fā)展迅速,靶材是一種具有高附加值的特種電子材料,源極。陶瓷靶材作為非金屬薄膜產(chǎn)業(yè)發(fā)展的基礎材料,已得到巨大的發(fā)展,靶材市場規(guī)模日益膨脹。靶材稀土靶材(UVTM)詳細介紹鋱靶材廣泛用于半導體芯片、太陽能光伏、平面顯示、特種涂層、微納加工。 靶材的材料、形狀也會有所差異。根據(jù)形狀可分為長(正)方體形、圓柱體形、無規(guī)則形以及實心、空心靶材。靶材是高速荷能粒子轟擊的目標材料,故靶材也叫濺射靶材(純度:99.9%-99.999%),具有較高的技術壁壘。銀是目前使用廣泛的導電層薄膜材料之一。和超大規(guī)模集成電路芯片的制造對濺射靶材金屬純度的要求相比,太陽能電池用鋁靶的金屬純度略低,99.995%(4N5)以上。高純貨品靶材被譽為半導體芯片材料的強者,半導體產(chǎn)業(yè)對濺射靶材和濺射薄膜的品質要求非常高,隨著更大尺寸的硅晶圓片制造出來,相應地要求濺射靶材也朝著大尺寸、高純度的方向發(fā)展,同時也對濺射靶材的晶粒晶向控制提出了更高的要求。高純貨品靶材在電子信息產(chǎn)業(yè)中的應用廣泛。

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