旋轉(zhuǎn)鋅鋁靶 Rotatable ZnAl target，應(yīng)用：主要用于制作ZnO.Al2O3 膜，廣泛用于TCO玻璃，熱反射玻璃，low-e玻璃膜。氧化鋅是一種透明導(dǎo)電膜材料。以ZnO粉末和Al_2O_3粉末為主要原料,以常壓、空氣氣氛燒結(jié)為手段制備透明導(dǎo)電膜用ZnO陶瓷靶材。研究結(jié)果表明:粉末成型壓力為3MP時(shí),靶材電學(xué)性能佳;當(dāng)Al:Zn原子比為4.100時(shí),ZnO的電阻率低,達(dá)4.1×10~(-3)Ω·㎝,當(dāng)Al摻雜量超過(guò)某一數(shù)值后,Al不再以替位離子形式存在,而是與周?chē)腪n、O原子共同作用,生成鋅鋁尖晶石相,從而導(dǎo)致材料的電阻率升高。在1350℃時(shí),表面形貌上靶材表面晶粒間結(jié)合的致密。從斷面形貌看,氣孔較少,主要存在晶粒交界處,氣孔圓化,基本上達(dá)到了陶瓷靶材的燒結(jié)終點(diǎn)。當(dāng)選取Al粉作為摻雜時(shí),溫度系列可以看出,在1050℃晶粒尺寸大,同時(shí)得到的電阻率相對(duì)較低。   目前大部分國(guó)家高等靶材市場(chǎng)主要分布于韓國(guó)、中國(guó)、日本，中國(guó)有超過(guò)20家靶材生產(chǎn)企業(yè)，依靠國(guó)內(nèi)的巨大市場(chǎng)潛力和利好的產(chǎn)業(yè)政策，以及產(chǎn)品價(jià)格優(yōu)勢(shì)，國(guó)內(nèi)的較好靶材制造商已經(jīng)在國(guó)內(nèi)市場(chǎng)占有一定的市場(chǎng)份額，并逐步在個(gè)別細(xì)分領(lǐng)域搶占了部分國(guó)際大廠的市場(chǎng)空間。UVTM擁有多年開(kāi)發(fā)和工作經(jīng)驗(yàn)的納米材料，并擁有冷噴涂技術(shù)生產(chǎn)金屬合金靶材，其制備的靶材Sn和O含量均略低于國(guó)產(chǎn)靶材。