20世紀90年代以來靶材已蓬勃發(fā)展成為一個有經(jīng)驗化產(chǎn)業(yè)，中國及亞太地區(qū)靶材的需求占有世界70%以上的市場份額。大量不同的沉積技術用來沉積生長各種薄膜，而靶材是制作薄膜的關鍵，品質的好壞對薄膜的意義重大。目前高等品質靶材主要由:日本、德國和美國生產(chǎn)，我國靶材產(chǎn)業(yè)起步較晚，在產(chǎn)品質量與精細標準上與國外有不少的差距，國內也有許多大學及研究機構對靶材積較投入了大量鉆研與開發(fā)，經(jīng)過這幾年的發(fā)展,珠三角也涌現(xiàn)了一批高新科技靶材廠家，其中少數(shù)成為了三星等全部知名企業(yè)的供應商，他們在國內占據(jù)了大部分中高等靶材市場份額。

　　1靶材應用行業(yè)分類

　　1.1裝飾、工模具鍍膜行業(yè)靶材鉻靶（Cr），平面鉻靶，噴涂鉻管；

　　鉻硅靶90/10Wt%,50/50at%,25/75at%(電弧，平面靶，旋轉管靶）；

　　鈦鋁靶50/50at%,70Ti/30at%,67AL/33at%（電弧，平面靶，旋轉管靶）；

　　鈦鋁硅靶1:1:1at%,1:2:1at%(電弧，平面靶，旋轉管靶）；